微波滤波器大量应用于现代微波通信和卫星通信系统之中。随着微波通信系统朝微型化方向发展,对微波滤波器的尺寸也提出了相应的要求,设计紧凑化和可集成化成为了现代微波滤波器设计的重要指标。传统的滤波器中存在大量的分立元件,影响了滤波器的单片集成。将微电子机械系统(microelectronic mechanical systems,MEMS)技术应用于微波滤波器的设计中,可以有效地解决上述问题。同时,结合超颖材料研究的一些最新进展,使用具有负磁导率性质或左手性质的人工结构,可以使设计的微波滤波器具有尺寸小、功耗低、隔离度高等优点。本文首先总结了微电子机械系统(MEMS)的技术特点、MEMS制造技术和在通信领域中的应用,总结了超颖材料学科的发展过程和当前研究成果及应用。其次,以传输线和滤波器的基本理论为内容,归纳了微波频段器件研究和滤波器设计的一般理论。第三,本文研究了开口环形谐振器(SRR)和互补开口环形谐振器(CSRR)的结构、激励方式和等效电路模型。为后续带阻滤波器的设计奠定了理论基础。第四,分析了RF MEMS开关的电磁特性,并将其应用于可调滤波器的设计当中。给出了基于CSRR的RF MEMS可调带阻滤波器的完整电路结构和等效电路模型,并进行了仿真分析。仿真结果表明,该滤波器可良好的工作于Q波段,并具有20%的中心频率调节能力。最后,对论文工作做了总结,指出了不足和后续的研究方向。