非晶硅薄膜太阳能电池没有冶炼硅带来的次污染问题，其电池薄膜单层小于1m，制造成本较低，但其转化效率不高。因此，提出在薄膜电池的光学玻璃基板上加工出微沟槽结构曲表面，吸收周边的散射光发电。但是，其基板为难加工的光学玻璃，其硬脆性会使得在机械加工中产生微裂纹、微破碎，且微工具极易磨损，致使微沟槽结构曲表面成型困难。因此，采用金刚石砂轮的微细尖端，在数控系统下对光学玻璃进行微结构曲表面的机械加工。为了同时形成宏观的曲表面和微观的沟槽结构表面，提出金刚石砂轮的分时修整，即先粗修V形金刚石砂轮为圆弧端，然后再精修整V形金刚石砂轮为微细尖端，分时地对光学玻璃的宏观曲面和微沟槽结构表面上进行成型加工。首先，研究金刚石砂轮V形尖端的修整工艺，采用机械对磨的方法，使GC油石和金刚石砂轮进行对磨，经过改进修整路径和修整工艺，形状误差可小于3.28μm，V形尖端圆弧半径为7.15μm。然后，针对砂轮尖端的微金刚石磨粒出刃状况分析光学玻璃的脆塑性转变的磨削工艺。其次，通过实验研究在玻璃基板表面磨削微沟槽的最佳工艺。实验结果表明，砂轮进给速度为400mm/min，砂轮转速为2000r/min，零磨削次数为5次时，微沟槽表面的粗糙度最小，可达10.5nm，圆角半径仅为34.29μm。最后，在非晶硅太阳能电池表面加工平面、圆柱、凸球、凹球四种形状的微沟槽功能表面，并对其光电转换效率进行检测。结果表明，圆柱微沟槽对光电转换效率的提高较为明显。此外，当光线入射角大于60°时，加工了微沟槽功能表面的非晶硅太阳能电池光电转换效率提升效果更为明显，因此即使在室内没有阳光直射的情况下，也可以有效地提高其光电转换效率，进一步扩大非晶硅太阳能电池的应用范围。