本文对气体放电活化反应蒸发沉积技术(GDARE)制备的纳米颗粒ZnO单层、双层以及ZnO/SnO2复合膜，进行了气敏性质及光电性质方面的研究。 本文分析研究了不同温度下的ZnO单层、双层以及ZnO/SnO2复合膜对乙醇气体的灵敏度特性，结果表明，ZnO单层膜的灵敏度较高，而ZnO/SnO2复合膜的最佳工作温度明显降低。借助薄膜的表面形貌与晶体结构的分析，研究了薄膜的导电模型及气敏工作机理，并引入了数学模型。通过对薄膜光学透射率的测量、通入气体前后的阻抗谱测试、以及电容测试等实验结果，从实验上说明其微观结构与气敏特性的关系，并由此建立了ZnO纳米颗粒半导体薄膜的气敏工作机理模型，对未来的薄膜气敏传感器的设计开发提供了一些理论依据。 此外，本文还对ZnO薄膜光谱特性、热电性质，以及热处理和激光改性处理等方面进行了一些有意义的探索与研究，旨在进一步开发GDARE法制备的ZnO多功能薄膜在光电领域的应用前景。