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工程陶瓷由于具有高强度、抗腐蚀、耐热、耐磨损等优越的性能,在航空航天、机械、汽车、电子等领域中得到了广泛的应用。随着工业技术的进步,陶瓷零部件的加工也不断向高效率、超精密等方向发展。然而,由于陶瓷材料本身的高硬度和高脆性,采用传统的磨削加工难以避免产生加工损伤,如表面/亚表面裂纹,粉末化层、残余应力等,这将影响材料表面的性能,降低材料的强度,甚至导致陶瓷零部件的提前失效。此外,磨削加工效率低,其成本达到了整个加工成本的90%以上。因此,如何实现工程陶瓷高效、低损伤加工一直是研究的重要课题。本文提出了