【摘 要】
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缺陷化学对钙钛矿氧化物的结构和性能有很大的影响,氧化物薄膜在缺氧环境中退火,薄膜中会产生大量的氧空位等缺陷结构。本文制备了外延的钙钛矿氧化物LaNiO3、La0.5Sr0.5CoO3和Pb(Zr0.4Ti0.6)O3薄膜,重点研究了退火氧压对薄膜结构和性质的影响。1.采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法在SrTiO3(001)衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0
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缺陷化学对钙钛矿氧化物的结构和性能有很大的影响,氧化物薄膜在缺氧环境中退火,薄膜中会产生大量的氧空位等缺陷结构。本文制备了外延的钙钛矿氧化物LaNiO3、La0.5Sr0.5CoO3和Pb(Zr0.4Ti0.6)O3薄膜,重点研究了退火氧压对薄膜结构和性质的影响。1.采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法在SrTiO3(001)衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3(70 nm)/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(70 nm)/La0.5Sr0.5CoO3(70 nm) (LSCO/PZT/LSC
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