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铁电薄膜材料因其在非挥发性铁电随机存储器(FeRAM)方面的应用而受到了广泛的关注。Bi3.15Nd0.85Ti3O12 (BNT)铁电薄膜因其优异的抗疲劳性能、低的热处理温度、高的居里温度、大的剩余极化、不含有毒元素铅等特点,成为了应用于FeRAM的重要铁电材料。电畴作为铁电薄膜材料中各种物理现象和过程的基础,直接决定或影响着铁电薄膜的物理性能及应用。因此,对BNT铁电薄膜的电畴进行研究将有着十分重要的意义。本论文首先采用不同的制备方法和制备工艺制备了BNT铁电薄膜,然后观测了其电畴结构及其翻转行