【摘 要】
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蠕动式机构具有在保持高位移分辨率的同时实现大位移行程的特点,在微进给领域的应用不断拓展.该文围绕蠕动式压电/电致伸缩微进给技术展开,在基于蠕动式微进给技术的微细电火
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蠕动式机构具有在保持高位移分辨率的同时实现大位移行程的特点,在微进给领域的应用不断拓展.该文围绕蠕动式压电/电致伸缩微进给技术展开,在基于蠕动式微进给技术的微细电火花加工实验基础上,改进研制一种大行程、高行移分辨率的蠕动式微进给机构.首先,在调研蠕动式机构特点及应用的基础上,进行基于蠕动式机构作为电极主轴直接驱动的微细电火花加工实验研究.针对压电陶瓷致动微进给机构利用柔性铰链传递位移和力的特点,对于柔性铰链机构的静态刚度、强度、动态响应以及压电陶瓷驱动的柔性铰链系统进行深入地研究.改进设计一种大行程、高位移分辨率的蠕动式微进给机构.设计了夹紧驱动电路以及计算机I/O接口电路.最后,对于微进给定位机构的性能进行了测试.得出了系统最高可能位移分辨率、最大步长、系统静态刚度以及最大可能进给速度等性能参数.
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