1.用磁控溅射,在Si衬底上生长了SiO₂-Fe-SiO₂的三层结构,Fe层的厚度分别为10 nm至30 nm不等。在不同条件下对样品进行了退火,以研究退火条件对制备纳米铁颗粒的影响。结果表明,退火温度为500℃,退火时间为一个小时是比较适合的退火条件。而在氧气、氮气、真空、氮氢混合气四种退火气氛中,以氮氢混合气体退火的样品表现出的磁学性质最佳。2.对氮氢混合气体退火的不同厚度的样品进行了比较研究。X射线衍射（XRD）的测量结果表明了铁颗粒的存在,并且Fe层厚度越厚的样品颗粒尺寸越大。利用磁力显微镜（MFM）观察样品的微观磁畴结构,Fe层厚度越薄的样品磁畴越小。利用振动样品磁强计（VSM）测量样品的磁滞回线可以观察样品的宏观磁学性质,随着Fe层厚度的增加,样品的饱和磁化强度增加,而矫顽力迅速减小,之后趋于饱和。3.利用X射线光电子能谱（XPS）对不同气氛退火的样品进行了深度剖面分析。氮氢混合气体退火的样品形成了Fe-Fe₂O₃的core-shell结构,且氧化铁的厚度相对较薄。氧气中退火的样品氧化铁的含量大大增加,样品被过度氧化,所以没有表现出明显的磁性。真空退火的样品也能测出明显的磁学信号,其氧化铁的相对含量介于氮氢混合气体退火和氧气退火之间,但样品中所含的铁明显向样品的表面偏析了。