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微机械加速度计由微机械加速度传感器与外围检测电路两部分组成。微机械加速度传感器是微机械加速度计最核心的部分,对加速度计的性能起着关键作用。微机械加速度传感器是用来测量线加速度惯性传感器件,可以应用于惯性力、倾斜角、振动及冲击等惯性参数的测量。微机械加速度计在惯性制导、汽车、消费电子、、地质等方面有着非常广泛的应用前景。电容检测式微机械加速度计具有较高的灵敏度、较好的线性度和以及较好的稳定性,因此在多种检测形式的加速度计中备受关注。电容检测式微机械加速度计包括电容式微机械传感芯片以及电容检测