在本研究中，使用真空热蒸发的方法制备了稀土氟化物(氟化镧、氟化铈、氟化镨、氟化钐、氟化铒、氟化镱、氟化钇)薄膜。使用XRD、SEM、光谱分析等测试方法对这些稀土氟化物薄膜的结构、表面形貌以及光学性能进行了研究；使用经典洛伦兹谐振子色散模型对这些氟化物在短波和中长波区域内的光学常数进行了计算分析；之后对这些氟化物在长波红外区的吸收进行了综合分析讨论。研究结果表明，在12—20微米的波段内，Pnma晶体结构的稀土氟化物(氟化钇、氟化镱、氟化铒)的吸收要明显大于P3c1结构的稀土氟化物(氟化镧、氟化铈、氟化镨、氟化钐)。远红外反射光谱结果表明，造成这种差异的根本原因在剩余射线带中两种晶体结构的稀土氟化物的振动模式有本质的差别。在长波红外光学薄膜器件的生产应用中，尝试使用吸收小的稀土氟化物并改进了增透膜系的设计，测试结果表明改进的设计提高了增透膜系在长波区的透过率。