Si-DLC膜微观摩擦性能及弹塑性接触有限元分析

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【摘要】

：

本文采用试验方法研究了硅掺杂类金刚石(Si-DLC)膜的微观摩擦力学性能,同时从数值模拟的角度进一步分析了硅材料微机电器件表面镀Si-DLC膜前后,其弹塑性接触性能和摩擦热分布的规律。首先,介绍了微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积和等离子体增强非平衡磁控溅射两种工艺综合制备Si-DLC膜的原理和具体工艺。所制样品表征结果表明Si-DLC膜是非晶膜。采用原子力显微镜(AFM)分析了膜表面形貌和

【作者】

：

刘翊

【机构】

：

江苏大学

【发表日期】

：

2010年01期

【关键词】

：

Si-DLC膜微观摩擦弹塑性接触摩擦热有限元

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