论文部分内容阅读
该文采用先进的离子束混合技术制备了Fe-NI-Nd、Fe-Ni-Y和Fe-Ni-Co磁阻合金薄膜.在Ni的百分含量为73、85、94的Fe/Ni多层膜或合金膜中,注入能量为60keV各种不同剂量的Nd<+>Y<+>和Co<+>,研究成分配比、混合元素及混合剂量对Fe/Ni薄膜各向异性磁阻效应的影响.通过透射电子显微镜(TEM)观察和分析了离子束混合后的微观结构.并研究了经离子束混合后薄膜磁性的变化.该文首次运用离子束混合方法制备了磁阻合金薄膜,为Fe/Ni磁阻材料的制备及研究开辟了一条新途径,简化了制备工艺.实验表明离子束混合法制备磁阻合金薄膜是切实可行的.