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在该论文中,利用微波等离子体化学气相沉积方法(MWPCVD)合成CVD金刚石样品.采用拉曼光谱方法,通过考察第一级金刚石拉曼线的精细线形,对CVD金刚石晶粒和薄膜的结构、品质及应力状态进行了系统的分析和评价.
CVD金刚石的Raman、CL谱评价及其表面处理与中间层效应研究
【摘 要】
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在该论文中,利用微波等离子体化学气相沉积方法(MWPCVD)合成CVD金刚石样品.采用拉曼光谱方法,通过考察第一级金刚石拉曼线的精细线形,对CVD金刚石晶粒和薄膜的结构、品质及应
【机 构】
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吉林大学
【出 处】
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吉林大学
【发表日期】
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1997年期
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