【摘 要】
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光学三维轮廓术在三维传感、机器视觉、自动加工、机器人仿真、工业在线检测、产品质量控制、实物仿形.生物医学等领域已得到广泛的应用.该文着重PSI的应用研究,简述了光电轮
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光学三维轮廓术在三维传感、机器视觉、自动加工、机器人仿真、工业在线检测、产品质量控制、实物仿形.生物医学等领域已得到广泛的应用.该文着重PSI的应用研究,简述了光电轮廓仪的研究前景及发展现状,同时给出了表征表面粗糙度三个常用的参数,并叙述了相移技术在数字光电轮廓仪中的应用.从原理上分析了相移干涉术在数字光电轮廓仪中的应用,并详细阐明了该文基于最小二乘的相位恢复算法,在描述传统的相位去包裹的基础上,细致论述了该文采用的相位去包裹(解截断)方法.从轮廓仪的总体结构设计出发,讨论了一般干涉显微镜和6JA型干涉显微镜的原理及测量误差.并对相移器设计、D/A转换电路和压电陶瓷驱动电路的研制做了详细的分析,同时给出了几种典型工件的测试结果.基于样机研制的需求,在Win98平台上,采用VC++6.0集成开发环境编写了一套应用软件.从拓展测量范围的角度,简单叙述了双波长干涉术和白光扫描干涉术的原理.
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