【摘 要】
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原子发射光谱仪主要用于成分检测。激发源是其重要部件。电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma, ICP)激发源因诸多优点得到广泛应用。激发源微型化对研发微型光谱仪至关重要。新型微型ICP激发源功耗、氩气消耗量、体积、重量仅为常压普通ICP激发源的数百分之一。因此,研究激发源参数优化具有较重要的应用前景。本文对各种原子发射光谱仪常用的火花、电弧、辉光等离子体、ICP等激
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原子发射光谱仪主要用于成分检测。激发源是其重要部件。电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma, ICP)激发源因诸多优点得到广泛应用。激发源微型化对研发微型光谱仪至关重要。新型微型ICP激发源功耗、氩气消耗量、体积、重量仅为常压普通ICP激发源的数百分之一。因此,研究激发源参数优化具有较重要的应用前景。本文对各种原子发射光谱仪常用的火花、电弧、辉光等离子体、ICP等激发源的装置和原理做了综述。介绍了国内外微型ICP激发源的研究及应用现状。重点围绕微型ICP激
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