【摘 要】
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对α-Al 2O3晶体中色心缺陷的探讨是当前研究热点之一，采用离子注入方法在晶体中掺入杂质元素，通过对注入参数的调节、基材晶向的选择以及热退火工艺的控制，以形成微细颗粒的研究进行得不多，因而这是一个相当新颖的课题。本研究首次采用Cu+离子注入单晶α-Al2O3,通过退火来研究α-Al2O3晶体中Cu微粒的形成规律。本论文首先介绍了α-Al 2O3晶体和色心基础，然后讨论了离子注入的基本理论，最后研
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对α-Al 2O3晶体中色心缺陷的探讨是当前研究热点之一，采用离子注入方法在晶体中掺入杂质元素，通过对注入参数的调节、基材晶向的选择以及热退火工艺的控制，以形成微细颗粒的研究进行得不多，因而这是一个相当新颖的课题。本研究首次采用Cu+离子注入单晶α-Al2O3,通过退火来研究α-Al2O3晶体中Cu微粒的形成规律。本论文首先介绍了α-Al 2O3晶体和色心基础，然后讨论了离子注入的基本理论，最后研究了Cu+离子注入α-Al2O3的实验现象。
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