【摘 要】
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悬浮转子式微陀螺作为新一代的无机械支撑的高精度、高稳定性的微惯性器件在航空航天、武器制导、民用等各个领域发挥着不可取代的作用。陀螺位移检测所能检测到的差动电容大
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悬浮转子式微陀螺作为新一代的无机械支撑的高精度、高稳定性的微惯性器件在航空航天、武器制导、民用等各个领域发挥着不可取代的作用。陀螺位移检测所能检测到的差动电容大小直接影响陀螺的精度。本文从各种电极结构入手运用有限元仿真与实验结合的方法对电极结构对差动电容大小的影响进行了具体的研究。本文首先对各类悬浮转子式微陀螺做简单概述,并对本课题所涉及的液浮转子式微陀螺的结构、工作原理、位移检测方法及原理做了详细介绍。在对整个系统拥有一定了解之后,对轴向电极在转子沿Z轴平动、绕X、Y轴转动后与转子间产生的差动电容大小进行了理论计算,同时又对径向电极在转子沿X、Y轴平动后电极与转子间产生的差动电容大小进行了理论分析。完成理论分析之后,利用有限元仿真软件Comsol Multiphysics对三种轴向电极结构:四对、六对、八对轴向电极在转子沿Z轴平动不同距离、绕X、Y轴转动不同角度后与转子间产生的差动电容值大小进行仿真,并将转子位移变化情况与相对应的差动电容数值间的关系绘图表达出来。从仿真结果发现八对轴向电极结构更适于进行陀螺转子绕X、Y轴偏转的检测;三对轴向电极结构适于转子径向平动的检测。为验证仿真是否具有参考性及应用价值,利用有机玻璃材料、钢质转子PCB极板搭建起测试平台最大程度的模拟真实陀螺系统结构、确保转子能够自由转动,灵活运用三角形边长与三角函数间的关系精确预设陀螺转子所需旋转角度。
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