在通信系统的发展非常迅猛的今天，电子技术也是日新月异，随着应用市场的变化，系统对源的要求也是越来越高。相位噪声作为振荡器的重要指标，很大程度上决定了通信系统之间信息交互的质量，所以对低相位噪声的振荡器的研究依旧是具有显著现实意义。本文着力研究的是三种微波振荡器：多腔体耦合 SIW振荡器，SIW-CSRR振荡器、微带双模振荡器，并对它们三个的特点分别进行了分析比较。　　首先设计了多腔体耦合SIW振荡器，本文提出SIW谐振腔面积与频率存在反比关系、腔体的形状对频率有影响等猜想，并通过大量仿真分析验证了这个猜想。基于提出的这个理论，选择同等面积下谐振频率更低的圆形SIW谐振腔作为谐振器的源和负载。为了减小多腔体耦合谐振器过大的面积，采用了 HMSIW 结构来设计源和负载之间的两条并行通路。这种结构使得源和负载之间有了多条传输路径，从而构成相位差，实现传输零点，改善了谐振器的Q值。最后基于该谐振器，采取并联反馈结构设计了一个 X 波段的振荡器，实现了稳定输出。振荡器的振荡频率为10.75 GHz，输出功率-0.54 dBm，相位噪声为-105.88 dBc/Hz@100kHz。相较而言，该振荡器虽然能稳定输出但面积稍嫌大。　　为了与面积更小的结构对比，基于截止波导理论和 CSRR 理论设计了一个同样是并联反馈的SIW-CSRR振荡器，该结构面积非常小。SIW等效为截止波导，其上表面蚀刻的CSRR对可以等效为容性结构，通过控制CSRR耦合对来控制耦合强度，从而在低于截止频率的频段激励起谐振。但 CSRR 结构对尺寸精度非常敏感，导致电路对加工精度有一定要求。该振荡器振荡频率为8.08 GHz，输出功率为-2.14 dBm，相位噪声为-101.17 dBc/Hz@100kHz。　　为了把前两个振荡器与微带线振荡器作对比，基于微带开环谐振理论，添加开路串扰枝节分离出双模，设计了一个微带开环双模振荡器。分别在2GHz和8GHz进行仿真分析，发现该结构在超高频缺点较大，不如SIW结构，但在甚高频性能优于SIW结构。基于这个滤波器设计的振荡器振荡频率在2.015 GHz，输出功率为-5.52 dBm，相位噪声为-117.02 dBc/Hz@100kHz。