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该文采用电镀工艺在纯铜基上电解共沉积钐铁合金薄膜,应用X射线衍射仪、XPS、SEM和能谱仪系统地对钐铁共沉积镀膜的物相、价态、宏观内应力、表面形貌以及薄膜厚度进行了分析和探讨.
Sm-Fe薄膜电解共沉积工艺研究
【摘 要】
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该文采用电镀工艺在纯铜基上电解共沉积钐铁合金薄膜,应用X射线衍射仪、XPS、SEM和能谱仪系统地对钐铁共沉积镀膜的物相、价态、宏观内应力、表面形貌以及薄膜厚度进行了分析
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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哈尔滨工业大学
【发表日期】
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2000年期
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