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Sm-Fe薄膜电解共沉积工艺研究
Sm-Fe薄膜电解共沉积工艺研究
来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:littlewolfwolfwolf
【摘 要】
:
该文采用电镀工艺在纯铜基上电解共沉积钐铁合金薄膜,应用X射线衍射仪、XPS、SEM和能谱仪系统地对钐铁共沉积镀膜的物相、价态、宏观内应力、表面形貌以及薄膜厚度进行了分析
【作 者】
:
李险峰
【机 构】
:
哈尔滨工业大学
【出 处】
:
哈尔滨工业大学
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
电沉积
Sm-Fe合金镀膜
残余应力
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该文采用电镀工艺在纯铜基上电解共沉积钐铁合金薄膜,应用X射线衍射仪、XPS、SEM和能谱仪系统地对钐铁共沉积镀膜的物相、价态、宏观内应力、表面形貌以及薄膜厚度进行了分析和探讨.
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