本文介绍了氮化铝兰姆波MEMS谐振器以及基于该谐振器的带通滤波器、传感器的设计与制造。氮化铝兰姆波MEMS谐振器是一种新型压电谐振器,其制造工艺与集成电路工艺兼容,且可实现多频率器件的单片集成;其品质因子较高,可应用于振荡器、滤波器及传感器的设计中,故其相关研究受到了广泛关注。本文首先介绍了氮化铝兰姆波谐振器的工作原理,对其设计和制造进行了深入研究。研究表明谐振器尺寸对其性能系数(FOM)有较大影响,谐振器的最优设计尺寸可使FOM达到最佳。基于该规律,本文设计制造了基于该谐振器的中频窄带滤波器,该滤波器表现出了较低的插入损耗和陡峭的滚降。之后,本文继续优化了滤波器设计。通过结合电容电感网络,滤波器实现了与50欧姆射频系统的匹配;本文进一步将兰姆波滤波器与电容集成,系统整体的面积进一步缩小,电路设计进一步简化。另外,本文还研究了兰姆波谐振器作为传感器的特征,尤其是其在液相环境下的表现。为减小液体对谐振器性能的削弱,本文将微流体技术与谐振器集成,这样,传感器不仅可以实现极小量样本检测,其优良性能还可以得到维持,保证传感器拥有更小的探测极限和更高的灵敏度。