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随着微机电系统、便携式电子设备及无线传感器的广泛应用,如何向微电子产品供能已经成为当前研究的热点问题。由于传统的化学电池供能方式有明显的不足,比如电池能量有限,使用寿命短,环境污染以及需要定期更换等,迫切需要新的供能方式。研究人员开始致力于寻求在环境中提取能量为微电子产品供能的方法。压电发电装置具有俘能效率高、发热小、环境友好,无电磁干扰、易加工,便于微型化和集成化等诸多优点,具有良好的应用前景,逐渐成为研究热点。其中悬臂梁式压电俘能器结构简单,谐振频率低,与环境中的振动频率相接近,一般工作在谐振状