基于纳米压印的超材料近红外吸收器制备研究

来源 :中国科学院研究生院(上海技术物理研究所) | 被引量 : 0次 | 上传用户:gedebao
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超材料近完美吸收器可实现对无线电、微波、太赫兹、红外到可见光波段的入射光的近100%吸收。应用广泛,如太阳能光伏、空间光调制器、传感器、红外隐身、光电探测等。超材料近完美吸收器的结构通常由金属颗粒-介质层-金属反射层构成,其高吸收率来源于表面金属颗粒、介质层之间产生的局域等离子体激元共振(LSPR)。在入射电磁波的激发下,金属颗粒中的电荷发生集体振荡,颗粒的光学吸收在等离激元共振频率处达到最大,并且显示近场幅度增强。有研究证明,超材料近完美吸收器的吸收特性与金属颗粒的尺寸、形貌和介质层的材料和厚度密切相关。纳米颗粒、纳米孔、纳米球等一些可精确控制形状、尺寸、间距的金属纳米结构制备方法的发展,促进了局域等离激元的研究。金属微纳结构的加工方法主要有:光刻、电子束曝光、极紫外光刻、激光直写、纳米压印等。普通光刻分辨率较低,极紫外光刻、电子束曝光技术、激光直写成本高且效率低,纳米压印在批量制备纳米级别尺寸的结构具有绝对的优势。我们设计优化了一个在近红外波段1.2微米具有近完美吸收的超材料吸收器,结构为金纳米圆颗粒-SiO2介质层-金反射层。以该设计为蓝图,利用紫外固化软压印技术制备了一系列具有不同介质层厚度的器件。紫外压印具有分辨率较高、对模板的损坏小、压印效率高、易脱模等优点,因此被我们选择作为金纳米可以的制备方法。使用PDMS作为压印模板,制备了一系列不同直径的结构,并分析了实验参数对压印结构的影响。我们利用红外反射谱测量,定量研究了这些器件的吸收特性。实验结果证实,介质层厚度、金属颗粒尺寸都会影响LSPR共振频率,介质层厚度的增加会导致共振频率蓝移,颗粒尺寸的增加会导致共振频率红移。实验证实了纳米压印技术制备的超材料器件具有工艺可靠性好,加工精度高等优点。实验测得的吸收率变化趋势与理论预期相符,吸收率较高。
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