随着微机电系统的高速发展,对微型零件的需求越来越迫切。微塑性成形技术作为微加工的一种,在微型零件的精确、高效和批量成形中发挥着非常重要的作用。本文通过单向拉伸试验研究了3003铝合金箔板微小试样机械性能的尺寸效应,并且通过模拟和实验相结合方法研究了3003铝合金箔板微圆筒拉深成形工艺,得到了最小直径为1mm的成形质量良好的微圆筒拉深件。通过单向拉伸试验研究了3003铝合金箔板微小试样的试样宽度和晶粒尺寸对抗拉强度、各向异性系数和拉伸件表面质量的影响规律。结果表明随着试样宽度的减小,抗拉强度、厚向异性系数减小,板平面方向性系数增大;随着退火温度的升高,晶粒尺寸减小,抗拉强度减小;当材料退火发生再结晶后,由于晶粒的变形不均匀造成了拉伸件的表面质量变得很差。采用商业软件DYNAFORM对3003铝合金箔板微圆筒拉深成形进行了数值模拟,分析了应力和厚度在拉深成形过程中的变化规律和微圆筒拉深成形中的失效形式,研究了凸凹模圆角半径对极限拉深比的影响。设计加工了凹模直径分别为1mm和2mm的微拉深模具,对3003铝合金箔板进行微圆筒拉深试验。研究了材料状态、坯料相对厚度和凹模直径对微圆筒拉深件成形质量的影响规律。采用SEM对成形件的表面形貌进行了观察和分析,结果表明退火态坯料拉深成形的成形件表面质量明显好于原始态坯料拉深成形的成形件的表面质量;坯料相对厚度越小成形件的表面质量越差;模具参数相同时,凹模直径越大,成形件的形状越规则。在同等条件下,较小直径的3003铝合金箔板微圆筒拉深件反而有更大极限拉深比。对材料进行再结晶退火明显改善了3003铝合金箔板的微拉深性能。