【摘 要】
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微型化始终是当代科学技术发展的重要方向。随着微电子技术的发展,基于MEMS(微机械系统)技术的微传感器、微执行器得到了快速发展,在其各种驱动方式中,静电驱动占有重要地位,因此对静电微执行器的研究是非常必要的。在静电微执行器中,存在做快速吸合现象,也被称为pull-in失稳现象,它是静电微执行器的一个重要特征。现今国内外对于静电微执行器pull-in失稳问题的研究非常多,但考虑静电微执行器边缘效应的
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微型化始终是当代科学技术发展的重要方向。随着微电子技术的发展,基于MEMS(微机械系统)技术的微传感器、微执行器得到了快速发展,在其各种驱动方式中,静电驱动占有重要地位,因此对静电微执行器的研究是非常必要的。在静电微执行器中,存在做快速吸合现象,也被称为pull-in失稳现象,它是静电微执行器的一个重要特征。现今国内外对于静电微执行器pull-in失稳问题的研究非常多,但考虑静电微执行器边缘效应的研究还是微乎其微。由于微型化器件灵敏度的增大,所以获得精确的pull-in点的相关参数都是非常必要的。
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