【摘 要】
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在对激光的测量领域,对激光束位置及角度的测量是非常重要的一部分。尤其是在需要精密对准的实验中,对入射光束的位置和角度测量都要求极高的精度。同时,在对实时性要求较高
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在对激光的测量领域,对激光束位置及角度的测量是非常重要的一部分。尤其是在需要精密对准的实验中,对入射光束的位置和角度测量都要求极高的精度。同时,在对实时性要求较高的实验中,由于仪器的移动以及更换将会对实验结果产生严重的影响,这就要求仪器可以同时测量入射光束的位置和角度。本设计是一种基于位置敏感探测器(PSD)的测量系统,能够同时对入射激光束进行位置测量和角度测量,可以满足对激光束探测的同时性与高精度要求。本文首先介绍了国内外当前对激光光斑位置测量的发展状况,比较了各种光斑位置测量方法的优缺点,确定采用PSD作为本文系统设计的基础,然后详细地论述了采用PSD测量入射激光束的位置及角度的总体设计过程。本文详细介绍了PSD传感器的原理及信号处理电路,并对系统工作方式进行讲解说明,分析系统测量精度的影响因素。显示部分采用上位机虚拟仪器软件LabVIEW(Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench)图形化编程语言,可以对结果进行直观的显示,并可根据需求对结果进行处理。
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