激光电子散斑干涉(ESPI)测量技术是以激光技术为基础，结合计算机图像处理技术的一种现代光学测试技术。它具有全场、非接触、高精度等优点，目前这种技术在新材料研究、电子元器件与工程结构件的力学性能试验、部件的振动测试及无损检测等方面已经得到了广泛的应用。随着电子产品的飞速发展，各种形式的电路系统得到了广泛应用，在电子产品使用中，元器件发热产生热变形使得整个电路系统的可靠性受到威胁，因此电路系统热变形的研究，尤其在工作状态下的实时热变形的研究是十分必要的，有着重要的工程实际意义。本文的研究内容包括两部分：（一）对电子散斑干涉测量技术的条纹骨架线方法中的关键技术进行了分析和研究；（二）应用动态电子散斑干涉技术对电路系统在工作状态下的实时热变形进行了实验研究。具体工作如下：（1）电子散斑干涉条纹中存在大量的颗粒噪声，降低了图像质量，不利于相位信息的提取，寻找有效快速的电子散斑干涉条纹图滤波方法，成为电子散斑干涉相位提取的关键技术之一。本文分析比较了频域中几种有效的电子散斑干涉条纹图滤波方法，包括传统傅里叶变换滤波法、根滤波法、基于条纹方向的傅里叶变换滤波法、加窗傅里叶变换滤波法、局域傅里叶滤波法。采用一些常用的图像质量评价参数，对每种方法和处理后的图像进行定量评价，概括了各种方法的特点和存在的问题。（2）为了提高电子散斑干涉条纹图的滤波效率，提出将Curvelet变换应用到电子散斑干涉条纹图滤波处理上。利用相邻尺度Curvelet系数的相关性，综合软硬阈值特点，构建了一种适应性较强的Curvelet滤波方法。应用提出的新方法对电子散斑干涉条纹图进行滤波处理，并与上述方法进行比较。（3）条纹骨架线插值法是电子散斑干涉相位提取的最直接方法，对高噪声高密度散斑干涉条纹，有效的准确的骨架线提取是ESPI另一个关键技术。本文提出了计算梯度矢量场的方向耦合偏微分方程，基于计算出梯度矢量场的拓扑性，可获得高噪声和高密度散斑干涉条纹的骨架线。（4）应用动态电子散斑干涉技术对电路系统的热变形进行了实验研究，分别从升温和冷却过程、不同的固定方式、不同的输入电压、不同的封装形式等几个方面研究了电路系统的热力耦合问题。