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近年来,金属氧化物半导体气体传感器由于具有灵敏度高、响应快、制作简单、使用方便等优点已受到广泛关注。研究表明,通过改变敏感材料的微观形貌和缺陷可改变传感器的气敏性能,为设计高性能气体传感器提供了一个有效途径。纳米结构氧化锌(Zn O)形貌丰富多样,基于此本文制备了不同形貌结构的Zn O,并制成气体传感器,对比研究了材料微观结构对气敏性能的影响,并分析其相关气敏机制。主要结果如下:首先,采用不同的方法分别制备了不同形貌的Zn O微/纳米结构,通过合成方法和参数调整实现Zn O纳米结构形貌的调控。利用水