本文主要的内容包括两个方面，六自由度纳米级Stewart并联平台的运动学分析和其动力学分析。 运动学分析：从并联平台的几何模型出发，直接求解出其运动学控制矩阵。六自由度定位平台是通过控制六只驱动器的长度来调整定位平台的六个自由度，每个驱动器的长度发生变化时会使定位平台的空间位置的六个自出度都发生变化，定位平台的空间位置和每个驱动器的长度变化量是一种复杂的几何非线性函数关系。先从定位平台的几何模型出发，推导出六只驱动器的长度与定位平台的六个自由度之间的数学关系，在得到这一数学关系模型后，针对本谋题研究中，驱动器在伸长或缩短时的变化量相对于它们的原长来说是个微小量，对其伸长或缩短量在数学上可做一阶近似。在一阶近似后就可以得到六只驱动器长度变化量与移动台空间位置的六个自由度的运动学数学表达。反求这个运动学数学表达，就是该平台的运动学控制方程；在进行纳米定位控制时，利用平台的运动学控制方程即可算出每个驱动器的伸长量。 动力学分析：由于定位平台是纳米级超高精度定位平台，平台的自重、惯性响应等都会使定位平台自身产生一定的应力应变，尽管该应变是很小的量，但其量级已经不能忽略，故需要整个平台进行动力学分析。此时，平台自重的影响是一个恒定量，相当于一个系统误差；而平台高速移动时的惯性应变将是一个动态误差，与平台移动的加速度以及其自振频率（自振频率是平台自身的参数）有关。拟采用有限元算法来进行平台结构的应力、应变、等参数的计算。