【摘 要】
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计算机辅助制造(CAM)是指通过直接或者间接把计算机与企业的物力和人力资源联系起来，在生产的计划、管理、控制和操作等方面有效地应用计算机技术。计算机辅助制造应用在集成电路生产制造上就称之为IC-CAM。如果说目前我国集成电路的计算机辅助设计技术同世界先进国家相比存在着多年差距，那么，在制造方面的计算机辅助也同样存在很大的差距。为了实现IC生产的计算机管理，使半导体制造企业提高产品合格率、降低生产成
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计算机辅助制造(CAM)是指通过直接或者间接把计算机与企业的物力和人力资源联系起来，在生产的计划、管理、控制和操作等方面有效地应用计算机技术。计算机辅助制造应用在集成电路生产制造上就称之为IC-CAM。如果说目前我国集成电路的计算机辅助设计技术同世界先进国家相比存在着多年差距，那么，在制造方面的计算机辅助也同样存在很大的差距。为了实现IC生产的计算机管理，使半导体制造企业提高产品合格率、降低生产成本，通过ISO—9000质量体系认证体系，我国的半导体制造业很有必要应用集成电路计算机辅助制造(IC-C
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