光学薄膜的制备不仅需要长期的工艺经验积累，而且对设备配置及稳定性也有较高要求。光学薄膜制备一般在真空室内进行，实际镀膜效果一般只有放气后进行光谱测量方可得知。因此，针对国产电子束镀膜设备易受环境干扰或人为因素引起重复性和成品率不够理想的状况，本论文在中心光学膜厚自动监控系统的基础上，开展了薄膜光谱在线监控技术的研究。目的在于通过已镀膜系的实时光谱测量来指导后继镀膜过程，提高薄膜制备的成品率和重复性。　　 光学薄膜在线监控技术主要包括两个方面的内容，一方面是薄膜光谱的在线测量，使得镀膜效果实时可知;另一方面是根据实时测量的光谱对镀膜过程过行指导，涉及到真空室内外环境不同时薄膜材料相关参数(如折射率、堆积密度等)的获得，以及对真空室内外环境不同时波长漂移现象的研究。　　 薄膜光谱的在线测量方面，首先建立了光学薄膜在线光谱扫描系统，结合软硬件介绍了光学薄膜在线光谱扫描系统的工作原理，分析了该系统中引起测量误差的主要原因并提出了相应的改进方法。然后建立了线阵CCD宽光谱测量系统的实验平台，描述了系统的软硬件构成以及CCD工作状态调节原理。分析了引起测量误差的主要因素，认为引起测量误差最主要的原因是CCD输出模拟信号的调理电路。　　 薄膜材料参数及波长漂移方面，通过单层膜实验及光学薄膜光谱在线测量系统得到了常用膜料真空室内外环境不同时的折射率，分析了薄膜吸潮过程引起的折射率变化。根据真空室内外环境不同时物理厚度不变的原理，引入矢量法分析真空室内外环境不同时薄膜中心波长的关系，并由真空室内的中心波长预测真空室外的中心波长，实验取得较好的效果。　　 最后，对整个论文的工作进行了总结，并且提出了今后改进的思路和发展的方向。