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随着先进制造技术的发展,各种具有微纳尺度和精度的表面不断出现,如集成电路表面、光学表面和信息存储表面等。微纳表面质量保证和制造工艺分析,有赖于准确的微纳表面形貌与结构测量仪器。目前已有扫描电子显微镜(SEM)、扫描隧道显微镜(STM)以及原子力显微镜(AFM)用于微纳表面的观测,难以满足微纳表面的计量测试需要。研究开发具有计量意义的微纳表面形貌与结构测量仪器,具有必要性。本论文研究基于白光干涉的原子力探针扫描微纳表面测量方法及关键技术,开发基于白光干涉的原子力探针扫描微纳表面测量系统,实现微纳表面的