微流控芯片分析系统（μTAS）操作的核心是对微流体的控制,而研究与微通道相适应的微流体驱动技术（微泵）是实现微流体控制的前提和基础。目前,基于不同驱动原理的微泵在微流控分析领域得到了很大的发展,已自成体系。 本文在对近几年来μTAS领域有关微泵的研究报道进行综述的基础上,研究制备了一种用于微流控芯片的改进型玻璃—PDMS气动致动微阀,并对气动微阀的性能进行了考察。 在此基础上,进一步将多个气动微阀平行排列集成在一个复合芯片上,构成玻璃—PDMS复合芯片上的蠕动型气动微泵。同时,采用Visual Basic程序语言编制并行接口控制程序,经自行设计的放大电路作用后驱动两位三通电磁阀,实现对气动微泵各气路间的切换的控制。 研究结果表明,采用AZ4620玻璃阳模制备的微阀微泵芯片操作稳定性高;采用复合芯片结构的微阀微泵芯片,既降低了芯片加工难度和成本,其整体刚性强度又得到大大提高,并增强了芯片与外气路和外流路连接的可靠性。气动微泵可以给出的最大泵流量为1.6 μL/min,最大泵压为155cmH₂O,泵流量和泵压取决于气路切换频率、液流通道宽度、工作气体压力以及PDMS泵膜的厚度。 玻璃—PDMS复合气动微阀结构的改进以及气动微泵的研制,为气动微阀微泵的实际应用,如构造微流控芯片上的流动注射分析系统等创造了条件。