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随着社会节能环保的发展,对建筑物智能窗口提出了更高的要求。透明导电薄膜在可见光区域有高的透过率,在近红外区域有高的反射率,在节能镀膜窗口领域有着诸多应用优势。掺杂氧化锌相对于常用ITO相比,有原料丰富、环境友好等优势.。其中,镓掺杂的氧化锌(GZO),由于镓原子半径与锌原子半径接近,尤其是其纳米晶,更容易实现其高载流子浓度的重掺杂,从而实现更短的红外截止波长和更高的红外反射率。本论文针对GZO纳米晶及其薄膜的制备,首先采用双靶磁控溅射,制备了不同掺杂含量的GZO薄膜。此外,采用高温液相法制备GZO纳米晶体,并通过旋涂处理制备GZO薄膜。最后,针对这两种方法所制备的GZO薄膜,研究其在节能镀膜窗口领域的应用。以金属锌和氧化镓为靶材,双靶磁控溅射沉积GZO薄膜的试验表明,该方法制备的GZO薄膜具有(002)的择优取向。XPS和XRD试验表明薄膜实现了有效掺杂,镓的最大掺杂量为6.56at.%。紫外-可见光谱测试表明,GZO薄膜在可见光区域(380~800nm)平均透过率为89%,而还原气氛退火将会有效改善薄膜的结晶质量和光学性质,可见光区域最大透过率为91%。可见-近红外光谱的测试表明:随着镓靶溅射功率的改变,薄膜在近红外区域光的吸收出现了蓝移现象,且在近红外区域(1700~2500nm)透过率已小于7%。高温液相法制备GZO纳米晶的试验表明,硬脂酸锌与1,2-十二烷二醇发生酯化反应生成了纳米晶,并且有机溶剂的清洗能有效去除溶液的杂质。XRD表明高温液相法能制备出结晶质量好的氧化锌,结合EDS表明镓已实现了有效掺杂,反应温度、保温时间、油酸和1,2-十二烷二醇含量对ZnO纳米粒子掺杂及其光学性质有显著影响。TEM表明高温相法制备的纳米粒子直径为5nm左右,FTIR研究表明GZO纳米粒子在近红外区域的吸收强度逐渐增加,吸收峰逐渐蓝移。通过旋涂制备了GZO薄膜,比较了厚度及成分对GZO薄膜结构和性能的影响。采用高温溶液法制备的GZO薄膜,在智能窗口上有较好的的应用前景。