随着社会节能环保的发展，对建筑物智能窗口提出了更高的要求。透明导电薄膜在可见光区域有高的透过率，在近红外区域有高的反射率，在节能镀膜窗口领域有着诸多应用优势。掺杂氧化锌相对于常用ITO相比，有原料丰富、环境友好等优势.。其中，镓掺杂的氧化锌（GZO），由于镓原子半径与锌原子半径接近，尤其是其纳米晶，更容易实现其高载流子浓度的重掺杂，从而实现更短的红外截止波长和更高的红外反射率。本论文针对GZO纳米晶及其薄膜的制备，首先采用双靶磁控溅射，制备了不同掺杂含量的GZO薄膜。此外，采用高温液相法制备GZO纳米晶体，并通过旋涂处理制备GZO薄膜。最后，针对这两种方法所制备的GZO薄膜，研究其在节能镀膜窗口领域的应用。以金属锌和氧化镓为靶材，双靶磁控溅射沉积GZO薄膜的试验表明，该方法制备的GZO薄膜具有（002）的择优取向。XPS和XRD试验表明薄膜实现了有效掺杂，镓的最大掺杂量为6.56at.％。紫外-可见光谱测试表明，GZO薄膜在可见光区域（380~800nm）平均透过率为89％，而还原气氛退火将会有效改善薄膜的结晶质量和光学性质，可见光区域最大透过率为91%。可见-近红外光谱的测试表明：随着镓靶溅射功率的改变，薄膜在近红外区域光的吸收出现了蓝移现象，且在近红外区域（1700~2500nm）透过率已小于7%。高温液相法制备GZO纳米晶的试验表明，硬脂酸锌与1,2-十二烷二醇发生酯化反应生成了纳米晶，并且有机溶剂的清洗能有效去除溶液的杂质。XRD表明高温液相法能制备出结晶质量好的氧化锌，结合EDS表明镓已实现了有效掺杂，反应温度、保温时间、油酸和1,2-十二烷二醇含量对ZnO纳米粒子掺杂及其光学性质有显著影响。TEM表明高温相法制备的纳米粒子直径为5nm左右，FTIR研究表明GZO纳米粒子在近红外区域的吸收强度逐渐增加，吸收峰逐渐蓝移。通过旋涂制备了GZO薄膜，比较了厚度及成分对GZO薄膜结构和性能的影响。采用高温溶液法制备的GZO薄膜，在智能窗口上有较好的的应用前景。