随着科技的进步和高新技术产业的快速发展,脆硬材料的应用日益广泛,脆硬材料的精密、超精密加工技术的研究也越来越受到重视。电火花整形是应用电火花加工原理,利用工件和工具电极间脉冲性的火花放电,靠局部瞬时高温把金属材料蚀除下来,从而通过工件和工具电极作相对成形运动达到整形的目的。ELID(Electrolytic In-process Dressing)磨削技术是在电化学加工、电解磨削原理基础上发展起来的一项磨削新技术,是一种新型的在线连续修整磨削的方法。研究表明,利用电火花精密整形后的高精度金刚石微粉砂轮作为工具,采用ELID磨削,可以实现脆硬材料的超精密镜面加工。本文通过对电火花加工技术、脆硬材料的磨削技术、金刚石砂轮的修整技术、脆硬材料的磨削去除机理和ELID磨削机理等相关技术资料的分析,结合最新的ELID磨削和电火花整形的研究成果,进行了金属基金刚石微粉砂轮电火花精密整形与氮化硅陶瓷的ELID精密磨削试验研究。试验采用了先进的纳米级微进给工作台和NUDAQ-2010数据采集卡,引入了基于LABVIEW编程的实时监测和数据采集系统。经过反复调整试验参数,不断优化试验流程,并在对试验现象和试验数据的研究处理的基础上,本论文总结了金属基金刚石砂轮电火花整形规律和氮化硅陶瓷ELID磨削规律,为今后在电火花精密整型技术和ELID精密磨削技术的研究方面,及二者结合实现超精密加工的应用方面提供了一定的借鉴作用。另外,通过改进试验手段和方法,在试验结果上,电火花精整后的金刚石砂轮的圆度误差达到了0.8μm, ELID磨削的氮化硅工件表面粗糙度值达到了1.0 nm,取得了较好的效果。