双工件台换台是光刻机研制的核心,也是完成后续扫描光刻任务的前提,换台过程要求高速度和高精度,因此扰动的存在极易导致换台的失败。而双工件台宏动系统主要负责换台的大行程直线运动,只有重复定位精度达到指标要求的微米级,才能保证整个换台过程的连续性。本文将宏动系统的运动归结为X向单电机定位运动和Y向多电机同步运动,分别进行了扰动抑制技术的研究,在仿真基础上设计了相应的扰动补偿器,然后在双工件台上换台实现过程中进行了扰动抑制实验,使系统的抗扰性得到了很大提高。首先,针对双工件台的结构特点以及换台的轨迹规划,分析了换台过程中宏动系统的运动情况,阐述了对宏动系统进行扰动分析的必要性,最后分析了换台过程中宏动系统中可能存在的扰动。其次,对X向单电机定位过程中的扰动进了分析与抑制。为此,从直线电机的原理出发,得出定位力扰动是该过程中的主要扰动,然后结合定位力产生的机理,在实验平台上进行了定位力扰动模型的辨识。随后,在保证鲁棒稳定性的前提下,对扰动观测器进行了设计,对定位力扰动进行了补偿,并进行了仿真验证。再次,对Y向多电机同步过程中的扰动进行了分析与抑制。结合现有的同步控制策略,介绍了基于扰动补偿的同步控制策略,将扰动观测器应用在补偿回路,并进行了仿真验证研究,然后针对X向的负载扰动,设计了负载扰动动态补偿器,对上述同步控制策略进行了修正,并通过仿真验证了其有效性。最后,在双工件台上进行了宏动系统的扰动抑制实验,然后在宏动系统抗扰性达到一定程度的基础上,通过解决了换台调试中遇到的一些实际软硬件问题,包括多运动控制卡以及存储扩展等相关问题,使整个换台顺利得到了实现。不但达到了系统指标要求的精度,而且在换台速度达到一定程度的基础上,提高了系统的抗扰性。