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生物传感器作为一种重要的工具,已经在生物及生物化学领域得到了广泛的应用。而这些领域对于目标物的检测,都有较高精确度和较好选择性的要求。高灵敏度、无标记、实时检测以及不断的小型化等特点成功的推动了生物传感器在更多领域的应用。与此同时,薄膜技术在新的生物传感器上的应用得到了人们的广泛关注。特别是基于压电薄膜的电声转换装置在生物传感器方面的应用取得了巨大进展。当前采用的电声转换装置主要有石英晶体微天平(QCM),表声波传感器(SAW)和薄膜体声波传感器(FBAR)。其中,FBAR因为其较高的谐振频率,较好的化学稳定性以及能够与半导体工艺相集成等优点,被越来越多的用于来生物传感器的制备。而随着集成电路工艺的发展,在同一个晶圆片上制备的传感器的数量越来越多,传感器设备的尺寸也随之减小,这就使得这种基于FBAR的生物传感器能够在更多的领域得到更加广泛及重要的应用。基于上述生物传感器的特点及发展趋势,本论文工作重点将围绕FBAR生物传感器的制备以及利用其对MUC1粘蛋白进行检测两方面来展开,主要包括以下几个部分:1.AlN基薄膜体声波谐振器的制备。FBAR元器件制备在双面抛光的硅片上,主要通过磁控溅射及光刻等工艺完成。首先利用直流磁控溅射交替沉积六层Ti-Mo布拉格反射层,再在布拉格反射层上利用射频溅射制备一层具有C轴择优取向的AlN层,最后通过光刻以及直流溅射,在AlN表面制备出图形化的金电极。谐振器结构与性能的表征主要用到了 SEM,XRD,以及网络分析仪。2.MUC1适配体-金纳米颗粒螯合物的制备。首先利用四氯金酸与柠檬酸三钠通过溶胶凝胶法制备金纳米颗粒。再将制备出的金纳米颗粒与尾端修饰有生物素和巯基的MUC1适配体混合,借助金纳米颗粒与巯基的结合生成金-硫键,合成出最后能够用来检测MUC1的MUC1适配体-金纳米颗粒螯合物。3.对FBAR表面进行亲和素修饰并利用其检测MUC1。首先利用巯基丙酸作为媒介,将亲和素装配到FBAR谐振器表面。再将不同浓度的被检测的MUC1溶液与制备好的MUC1适配体-金纳米颗粒螯合物按照一定比例进行混合,之后滴加到修饰有亲和素的FBAR表面。通过网络分析仪检测FBAR谐振频率的变化,得出不同浓度的MUC1与FBAR谐振频率变化量之间的关系,进而完成对MUC1的检测。最后还通过对于不同生物分子的检测实验,对FBAR生物传感器的选择性进行了研究。