快速超精密宏微运动驱动方法研究

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随着超大规模集成电路和复杂光学元件制造技术的飞速发展,对制造装备精度和工作效率的要求越来越高,精密运动平台作为这些制造装备中的关键,对其运动精度等性能的要求也越来越高。当前超精密加工制造领域所用到的纳米级运动平台多采用直线电机叠加音圈电机的宏微双重驱动结构。作为直线电机和音圈电机控制系统的最内部环节,电流环性能的提高直接影响到电机运动精度等指标。为此本文提出了改善直线电机数字电流环性能的双刷新死区补偿方案,设计了全线性的音圈电机驱动方案,并在实际宏微运动系统中验证了这些方案。首先,从基于场定
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