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随着半导体技术的高速发展,(LaserDiode)凭借其价格低廉,体积小等方面的优势,受到越来越多的关注。然而,激光二极管受自身结构特性的影响,其产生的波前有较大的像散,且波前横截面呈椭圆形。这些缺陷使得激光二极管在光学信息处理、光学传输、光刻等领域中,不能满足对无像散波前的需求。
本文为校正激光二极管的波前像散,在其波前像散模型的基础上,设计了一套可以校正激光二极管波前像散的微透镜系统,并且在理论上论证了该系统可将有像散的激光二极管波前校准为无像散的、波前光强圆对称分布的激光二极管波前。
为从实验上检测该微透镜校正系统的设计效果,我们利用横向剪切干涉方法对该系统的校正结果进行了测量。根据球面波波前曲率半径与球面波横向剪切干涉条纹密度的关系,我们测量了被校正过程中的激光二极管光束在快轴和慢轴上的波前曲率半径。同时,以测量结果为校正过程中的判断依据,不断的调整微透镜系统。通过定量分析实验结果,我们验证了该微透镜校准系统可以有效地将有像散的椭圆激光二极管波前校准为无像散的、波前光强圆对称分布的高斯波前。