溶胶-凝胶法制备高阈值Ta2O5薄膜及其温度效应研究

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光学薄膜是激光系统的重要元件,随着激光器向高强度大功率方向发展对光学薄膜的抗激光损伤阈值提出了越来越高的要求。因此研究光学薄膜的激光损伤机制对提高激光器的功率具有重要的意义。Ta2O5具有高折射率和很好的化学稳定性,较低的吸收,被广泛应用于光学薄膜领域。同时,Ta2O5薄膜有着较高的抗激光损伤特性,近年来在激光薄膜中的应用也备受关注。本文采用溶胶-凝胶法制备出高阈值的Ta2O5薄膜,系统的研究了Ta2O5薄膜的光学性能、抗激光损伤阈值及其温度效应,并通过对其阈值及其损伤形貌的变化规律分析,揭示了Ta
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