太赫兹（THz，1THz=1012Hz）辐射在电磁波谱上位于微波和红外之间，属于远红外波段。通常所研究的THz辐射指的是频率在0.1THz～10THz，波长在30um～3mm，波数在3.3～330cm^-1之间的电磁波段。现在，太赫兹时域光谱技术发展了100GHz和1THz之间的线性光谱学，为物质探测提供了巨大的灵活性，在一定程度上推动THz辐射的研究不断取得新的进展。一般来说，金属对电磁波具有屏蔽作用，金属板的尺寸比入射波的波长大时，电磁波无法透过金属板，而近年来发现金属亚波长结构在某些特定频率处对电磁波有增强透射现象。本论文主要研究了金属亚波长结构的太赫兹透射光谱特性。本论文首先测量了不同掺杂硅片在太赫兹波段的透射特性，研究了硅在太赫兹频段的光学特性，得到了硅在这一频段的一些光学参数。与那些电阻率低的硅片相比，高阻硅对THz波的吸收几乎可以忽略，高阻硅的透射率大约为48％，比低阻硅的透射率大得多。因此，可以选择高阻硅作为衬底，为进一步研究基于硅衬底上的金属亚波长分形结构的THz透射特性奠定了基础。本论文的主要工作是利用太赫兹时域光谱系统，测量并分析了一系列铜箔上的H分形缝、一系列硅衬底上的金属分形线和一系列硅衬底上的金属分形槽的THz透射特性，得到了以下一些结果：在太赫兹波段，金属分形结构的透射谱中出现透射增强现象。阵列样品比单个样品更容易得到透射增强；其他条件不变时，产生透射增强现象的频率位置会随着一级线长的增加而发生红移；产生透射增强现象的频率位置几乎不依赖于样品阵列的周期和样品的厚度，依赖于偏振方向；实验说明了亚波长分形结构在太赫兹波段产生的高透射由分形缝图案的局域共振支配，即由此结构的几何结构的谐振决定。总之，本文研究了一些金属亚波长分形结构对太赫兹波的调制透射性质，以及这种结构传输太赫兹波的规律，这些规律在太赫兹波器件的制备方面有很大的应用前景，如太赫兹滤波器、太赫兹偏振片、反射器、位相延滞器等等，对太赫兹光子器件的研究具有重要的指导意义。