声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)气体传感器是一种新型的传感系统。具有独特的优点，设计结构灵活，对电、热、力、声、光、化学及生物等多种因素敏感，并且涉及表面波理论、器件工艺、薄膜理论、电磁、检测技术等科学领域。具有抗干扰能力强、灵敏度高、检测范围线性度好、测量重复性好等优点，其采用集成电路中的平面工艺制作，可实现集成化、智能化，使得声表面波传感器体积小、重量轻，携带方便，成本低，并且具有重要的经济和社会效益，目前国内关于SAW气体传感器的研究仍然在研究进行中。　　 本论文主要基于国家自然科学基金资助项目，新型多通道声表面波气体传感器研究(60572018)和天津市科技发展计划一科技攻关项目，多通道声表面波化学传感器的研制(05YFGPGX04900)等项目展开研究，以声表面波传感技术为研究对象，构建了声表面波气体传感系统。主要介绍了传感器的发展，进而详细分析声表面波传感器的理论，发展情况；对声表面波传感器件的制作理论，包括基底材料、叉指换能器等参数设计都进行了详细的介绍和建模，制作出适合声表面波气体传感器的声表器件。　　 重点研究了几种晶体，薄膜，气体之间的相互影响关系，包括石英、LiNbO3晶体；二氧化氮，一氧化碳，氢气；酞菁酮(GuPc)，氧化铟，SnO2等。分析了不同的气敏薄膜(各向同性绝缘材料、金属导电薄膜和金属氧化物半导体薄膜)吸附气体后对频移的影响机理；选取了一定的薄膜材料，并进行实验制作，对SAW气体传感器制作和发展有一定的指导意义。　　 并且在原有文献和数据中，在针对传统声表面波气体传感器检测方法单一的基础上，结合文献中的要点，总结设计制作频率和幅度双项检测电路，调制方法，将频率检测和幅度检测统一在一起，形成更加科学的检测方法。对同一种气体，检测方法更加合理，精确。　　 最后对声表器件进行实验，得出符合理论的实验结果，并且在不同的条件，包括不同薄膜，气体，湿度，温度下，绘制出符合理论仿真的特性曲线。