我国政府为了促进经济健康发展、推动产业升级,优化资源配置,会对一些行业的企业给予政府补助。政府补助是政府缓解市场失灵的一种手段,其目的是扶持企业的发展。近几年,我国政府对于以半导体行业为代表的战略性新兴产业发展的重视程度不断提高,并将大量资金投入半导体行业,这些资金有不少被用于企业的研发活动中。在这样的大环境下,研究政府补助、研发投入以及企业绩效三者间的作用机制,探究其相互关系,能够有助于国家更好地进行政府补助,优化资源配置,也使得企业能够更好地开展研发活动。本文在梳理政府补助、研发投入以及企业绩效相关文献和相关理论的基础上,对于半导体行业进行分析,针对半导体行业的具体情况,提出了半导体行业政府补助、研发投入以及企业绩效的研究假设。本文选取了2017年以前上市的31家半导体行业上市公司作为样本,采用2014-2019年的数据构建模型进行回归分析,探究了半导体行业政府补助、研发投入对企业绩效的影响。本文还在实证分析的基础上,通过对于长电科技进行案例分析,探究了微观视角下,政府补助、研发投入对于长电科技绩效的作用机制。从本文的实证结果来看,半导体行业的政府补助与研发投入显著正相关,政府补助越大,企业的研发投入越大。半导体行业的研发投入与企业绩效显著正相关,研发投入越大,企业的净资产收益率越高。从半导体的行业数据看公司政府补助与公司绩效呈现显著正相关。研发投入能够在政府补助对企业绩效的作用机制中发挥作用。同时滞后一期的回归分析结果与滞后前的结果相差不大。在案例分析中,本文分析了长电科技的具体情况,发现政府补助能够推动长电科技开展研发活动,而长电科技的企业绩效也因为政府补助和研发投入的增长有所提升,但长电科技存在对于政府补助依赖性强的情况。最后本文针对研究结论从政府和企业两个层面提出相关的建议和对策,对本文的不足之处进行归纳总结。