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纳米多孔硅材料表面对气体吸附的特异性使其在瓦斯气体传感器领域有广泛的应用。本文以多孔硅表面瓦斯气体吸附过程为研究对象,利用理论与实验结合的方法研究瓦斯气体与多孔硅材料表面相互作用过程,以期得到器件表面的物理和化学吸附规律,这将对于纳米硅材料传感器有很重要的研究意义。气敏元件设计中要考虑不同硅表面与气体吸附浓度的依赖关系和同一表面的不同吸附位置与吸附稳定性的关系。本文主要从硅吸附质表面形貌、表面对瓦斯气体的物理和化学吸附过程进行了相关分析。利用气相色谱仪和物理化学吸附仪,分析了不同数量Si(311)表