随着计算机和通信技术的快速发展,信息处理的能力不断提高,除了对器件的运行速度不断改进之外,也要求人机交互界面能够越来越方便,反应速度越来越高。触觉是人类感知外界环境的一种重要的感觉,是实现人类与周围物体互动的重要手段。但是人体的结构远比目前所有的仿生器件要复杂的多,从触觉信号的产生、传输到大脑皮层作出辨别与反馈,这之间所有的过程可以在极短的时间内完成。基于光学原理制作的触摸传感技术在高速方面比已有的电容、电阻、表面声波等触摸传感技术具有更大的潜力和优势。近年来,光学传感器的应用越来越多,已引起世界许多科研机构的关注。而光学触觉传感技术主要是指利用光作为信息的载体,对光波进行调制,实现光的传输参量随外界接触不同而变化的技术。它具有高分辨率、高精准度、抗电磁干扰、低能耗等优点,并且采用光缆等方式能够大大简化线路排布。本文以研究光学触摸传感技术为目的,设计了一种新型微流光学触摸传感单元结构,实现对外界压力的连续比例式测量,可用于机器人对触觉的模拟和小尺寸触摸屏的应用；采用激光直写技术制作器件,过程简单,降低器件成本,提高生产效率。本论文的主要内容包括：首先,介绍了当前机器人触觉传感技术和触屏技术的基本情况,详细分析电学与光学中各类型的传感器工作原理,比较电学触摸与光学触摸的工作特点,突出光学触摸高速、高分辨率等优点。其次,设计了一种新型的微流光学触摸传感单元结构,实现对外加压力的连续比例式测量,结构简单,反应迅速。对三种不同截面面积的波导结构,在光学设计软件ZEMAX中进行模拟分析,讨论波导结构的截面大小对传感信号的影响,同时这也是决定器件尺寸的重要因素。再次,对此微结构的制备工艺和过程进行详细的阐述。采用激光直写系统制作器件,可以获得与设计一致的微细结构,并且准确度高,速度快,成本低廉。尤其是在制备阵列结构时对提高效率具有重大意义。最后,搭建实验平台系统,对制备的触摸传感单元进行测试。实验结果表明,该触摸传感结构能实现光信号随外界压力的连续比例变化,并且灵敏度为0.995mV/kPa。