微波自动阻抗匹配系统的研究

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微波阻抗匹配是指微波信号传输过程中,在系统的终端或不同特性阻抗传输线的连接处不产生反射;它关系到系统的传输效率、功率容量与工作稳定性,关系到微波测量的系统误差和测量精度,以及微波元器件的质量等一系列问题。因此,匹配问题在微波技术中极其重要,是微波系统中重要的一个环节。传统微波阻抗匹配技术很难对动态负载呈现的非线性阻抗变化做到实时、快速并且稳定的匹配,这就限制了微波系统在很多领域的应用。本文构建了一个能为大功率微波系统的动态负载提供匹配的自动阻抗匹配系统。此系统可利用它全自动化和快速的特点,实时的为负载尤其是动态负载(比如:等离子体负载)提供快速,稳定,可重复的匹配,自动将反射系数保持到工程理想值,从而实现微波功率的最佳传输。在构建了自动阻抗匹配系统的基础上,本文提出了一种新的快速匹配方法;此方法是将仿真软件HFSS和系统设计相结合,用HFSS仿真系统中完成阻抗变换作用的销钉匹配器,获得销钉插入波导深度变化时的端口等效特性,并将仿真得到的数据用MATLAB组织起来,分析销钉插入波导的深度变化时端口等效阻抗特性的变化,来达到对调试变化规律的认识,快速的实现销钉插入深度与反射系数间的统一。(调整插入深度,将反射系数保持到工程理想值)
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