【摘 要】
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该文提出了MEMS虚拟加工工艺的概念,着眼于在MEMS设计阶段对加工工艺进行仿真.具体说,就是将通常MEMS设计得到的工艺描述文件作为输入,经虚拟加工工艺过程,映像到作为输出的M
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该文提出了MEMS虚拟加工工艺的概念,着眼于在MEMS设计阶段对加工工艺进行仿真.具体说,就是将通常MEMS设计得到的工艺描述文件作为输入,经虚拟加工工艺过程,映像到作为输出的MEMS部件三维几何形状.其中虚拟加工工艺过程采用实际MEMS加工的工艺模型来描述,这就保证了虚拟加工的结果和实际加工结果尽可能接近.同时MEMS虚拟加工工艺是基于虚拟现实技术、用三维图形学手段来实现的,还保证了MEMS设计结果符合人的观察习惯,更加直观、方便,进一步提高了设计的成功率.该文还进一步分析了MEMS虚拟加工工艺的几项关键技术,它包括工艺描述、工艺模型和虚拟加工工艺过程的可视化三部分.工艺模型是虚拟加工工艺的核心,针对目前MEMS加工的研究现状,该文提出了采用规则的方式来描述工艺模型;进一步,针对两个标准MEMS加工工艺给出了用规则描述的工艺模型.在MEMS虚拟加工工艺实现中,引入了专家系统技术,将已有的工艺知识分别描述成专家系统的知识库中的规则,而且推理机部分与知识库分离,使系统有较好的可扩充性.并且给出了用专家系统技术来实现虚拟MEMS加工工艺的框架,并对该系统中各个部分作了详细的设计.最后从软件实现的角度论述了虚拟加工工艺软件具体的实现方法,并且给出了应用虚拟工艺技术来模拟目前两种主流MEMS工艺的加工过程,得到较好的效果,进而证明了虚拟加工工艺技术实现框架在时间和精度两方面的可行性.
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