【摘 要】
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声表面波(SAW)加速度计是一种高性能、低成本的新型传感器。在我国，由于SAW加速度计动态性能差等问题没有解决，所以至今尚未投入实际应用。基于此，本文重点研究改善SAW加速度计动态性能的阻尼技术。 本文通过分析比较各种阻尼方式，提出并论证微间隙压膜阻尼应用于SAW加速度计的可能性和可行性。对SAW加速度计原理样机的结构作出改进，以便施加压膜阻尼。利用机电模拟方法，建立完整的SAW加速度计等效
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声表面波(SAW)加速度计是一种高性能、低成本的新型传感器。在我国，由于SAW加速度计动态性能差等问题没有解决，所以至今尚未投入实际应用。基于此，本文重点研究改善SAW加速度计动态性能的阻尼技术。 本文通过分析比较各种阻尼方式，提出并论证微间隙压膜阻尼应用于SAW加速度计的可能性和可行性。对SAW加速度计原理样机的结构作出改进，以便施加压膜阻尼。利用机电模拟方法，建立完整的SAW加速度计等效电路模型，通过对该模型进行计算机仿真分析，总结出各种压膜阻尼参数影响SAW加速度计
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