点衍射干涉仪关键器件设计与基准波前分析

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点衍射干涉仪采用小孔衍射的球面波作为参考光,具有无需参考面、测试精度高等优点。为了实现对激光器出射波前质量的检测,本论文基于传统点衍射干涉仪,设计了准直波前干涉测试系统,对系统中关键器件的性能与核心参数进行了研究。为了得到清晰明亮且稳定的干涉条纹,解决参考光束和测试光束光强匹配问题,基于标量衍射理论,采用菲涅尔子波叠加原理,获得了系统中小孔衍射参考波前的远场光强分布。对比分析了小孔直径不同、小孔横向离焦、小孔轴向离焦时的光强变化。仿真结果表明小孔直径越小,光强越均匀,小孔横向和轴向有偏差时,
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