本文探讨了薄膜压力传感器的工作原理,通过芯片工艺的研究与改进来提高产品的性能,应用集成电路、补偿软件对传感器误差进行有效补偿,从而提高产品的测量精度与数字化、智能化程度。 采用离子束溅射镀膜技术,在弹性元件上制备各种高性能薄膜。通过采用Ta₂O₅/SiO₂复合绝缘膜,获得了在250V直流电压下大于10000MΩ的绝缘电阻。通过一系列的工艺改进,如选取优质的弹性元件材料、薄膜电阻材料,采用3000（?）～5000（?）厚度的电阻膜,在N₂下进行热处理,在薄膜电阻上溅射SiO₂保护膜和喷涂保护涂层,通过这些改进有效提高了薄膜电阻的稳定性及温度性能。 针对薄膜压力传感器的特性,设计各种性能补偿方法。在薄膜电阻桥内串接电阻的补偿方法最简单有效,通过采用同一芯片上同材质的薄膜电阻进行零点补偿,补偿精度达0.5‰,同时传感器的零点温漂基本上小于0.01%FS/℃。设计XTR106信号调理电路将薄膜压力传感器的低信号转换成为工业标准的二线制4～20mA电流环,同时补偿传感器的非线性到更高精度。 为薄膜压力传感器设计的MAX1452信号调理电路,可以通过软件,经标准的串行数字接口部件,对传感器信号进行补偿,从而简化生产工艺,提高产品的抗干扰性和测量精度。 通过该课题的研究,提高了传感器的绝缘性能、稳定性能和温度性能,补偿后的产品-40～125℃范围内精度达0.1级,能在恶劣环境下长期稳定和可靠地工作。 论文对薄膜压力传感器研制进行了有益的研究,对我国国防军事高性能压力传感器的开发有重要意义。