随着制造业的加工精度和自动化程度的不断提高,特别是航空航天、汽车工业和模具工业的发展,对自由曲面的高精度快速测量的要求越来越迫切,对三坐标测量系统精度要求越来越高。本文的主要目的是对非接触式三坐标测量系统精度做出评定并采取有效措施提高精度。本文研究内容包括以下几个方面：(1)对影响激光测头测量精度的因素进行了分析。重点研究了被测物体的倾斜角度和颜色对测量的影响,并提出了一些减小误差的方法。(2)对X、Y、Z轴滚珠丝杠的传动误差采用试验的方法进行检测,进而逐个补偿,提高三座标测量系统精度。(3)采用软件补偿法对三坐标测量系统的系统误差进行补偿,编写误差补偿软件进行补偿。依照原有测量软件,补偿软件采用Visual C++6.0编写,经过测试运行正常。(4)分析测量机动态误差的种类和起因,建立机体结构动变形与位移误差转换模型,指出由机体动变形带来测头处的位移误差不仅与测量速度参数有关,还与测头位置直接相关,为测量机动态误差的空间相关性提供理论依据。